SEMI發布五項新技術標準――包含光伏硅材料檢測方法
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此次新標準包含了對于光伏硅原料的檢測方法。SEMI國際標準總監James Amano,表示，“隨著光伏產業的迅速發展，SEMI已就光伏產業創建了一套標準體系。相信新標準的建立對于設備及工藝領域將有所保障。”
本文引用地址：http://cqxgywz.com/article/91371.htm五項標準分別是：
SEMI E151
Guide for Understanding Data Quality
SEMI F107
Guide for Process Equipment Adaptor Plates
SEMI M75
Specifications for Polished Monocrystalline Gallium Antimonide Wafers
SEMI MS8
Guide to Evaluating Hermeticity of MEMS Packages
SEMI PV1
Test Method for Measuring Trace Elements in Photovoltaic-Grade Silicon by High-Mass Resolution Glow Discharge Mass Spectrometry
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