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MEMS射流角速率傳感器中微懸空鉑絲加工工藝的優化設計

作者：時間：2012-04-23 來源：網絡

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本文引用地址：http://cqxgywz.com/article/160750.htm

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關鍵詞：工藝優化設計加工懸空速率 傳感器 MEMS

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