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半導體產業催生18寸晶圓制程標準

作者: 時間:2013-10-16 來源:智能電網傳感器 收藏

  為了克服制程微縮帶來日益嚴峻的設計復雜度與成本提升,朝向18寸(450mm)晶圓制造邁進已成為產業共同努力的目標,然而,世代的有效轉型無法一蹴可幾,必須有賴業者合作制定規范,并提升生產技術才有可能。

本文引用地址:http://cqxgywz.com/article/182181.htm

  在今年SEMICONTaiwan期間,SEMI邀請到全球450mm聯盟、英特爾、KLATencor、和SUMCO等多家業者討論SEMI的450mm技術專案小組在促進次世代產業發展所做的努力以及最新成果。

  英特爾說明了450mm晶圓規格的挑戰,回顧了過去產業從6寸陸續移轉到8寸與12寸晶圓的歷程,指出,每一次的世代移轉,業界共同合作與標準制定都扮演著重要角色,對450mm晶圓移轉來說更是如此。

  目前全球450mm聯盟正與供應商密切合作,已完成了超過50個工具平臺的開發與測試,下一個階段,各家IC制造商將自行建立試產線,因此接下來,對于自動化系統、量測與生產制程工具的需求將會浮現。英特爾認為,450mm晶圓制造工具將會持續進展,與當初產業朝12寸移轉一樣,終將能滿足業者的實際生產需求。



關鍵詞: 半導體 18寸晶圓

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