據臺積電向臺灣證券交易所(TSE)遞交的文件，臺積電2009年的設備支出達1450億新臺幣(約合45.7億美元)，其競爭對手聯電的支出為220億新臺幣。

　　臺積電向Applied Materials訂購了280億新臺幣的設備，向ASML訂購了240億新臺幣的設備，向TEL、Dainippon Screen和KLA-Tencor訂購了100億新臺幣的設備。這些主要的設備商幾乎占了臺積電設備支出的70%。

　　臺積電預計將于2010年第一季度開始28nm低功耗工藝的試產，并在第二季度和第三季度開始28nm高性能工藝的試產。