歐盟正式啟用 NanoIC 中試線(pilot line)，這是迄今為止歐洲芯片法案框架下規(guī)模最大的中試線，標志著歐盟在強化本土半導體產(chǎn)業(yè)實力的道路上邁出關(guān)鍵一步。該全新研發(fā)設(shè)施坐落于比利時魯汶的歐洲微電子研究中心（imec），總投資額達 25 億歐元，其建設(shè)初衷是推動芯片技術(shù)突破當前的制造極限。其中，歐盟直接出資 7 億歐元，各國及地方政府配套等額的 7 億歐元資金，剩余資金則由阿斯麥（ASML）等行業(yè)合作伙伴承擔。

對于《歐洲電子工程新聞網(wǎng)》的讀者而言，這一項目意義重大：NanoIC 中試線將直接提升歐洲本土設(shè)計、研發(fā)先進芯片原型并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的能力，同時也為設(shè)備供應(yīng)商、無晶圓廠企業(yè)、初創(chuàng)公司和科研機構(gòu)創(chuàng)造了新機遇，讓它們能在大規(guī)模量產(chǎn)前完成下一代芯片工藝的驗證工作。

2 納米以下先進制造技術(shù)落地歐洲

NanoIC 是歐洲首個部署最先進極紫外（EUV）光刻系統(tǒng)的研發(fā)設(shè)施，可開展 2 納米及以下制程芯片技術(shù)的研發(fā)工作。這一布局讓歐洲進一步躋身半導體先進制造領(lǐng)域的第一梯隊，而該領(lǐng)域此前長期由美亞企業(yè)主導。

該中試線的設(shè)計初衷是為人工智能、自動駕駛、先進醫(yī)療系統(tǒng)和未來 6G 移動網(wǎng)絡(luò)等多領(lǐng)域的創(chuàng)新研發(fā)提供支撐。憑借接近工業(yè)級規(guī)模的研發(fā)能力，NanoIC 能讓新型器件架構(gòu)、新材料和新工藝技術(shù)在進入商業(yè)晶圓廠量產(chǎn)前，完成充分的測試與優(yōu)化。

歐盟執(zhí)行副主席亨娜?維爾庫寧、比利時首相巴特?德韋弗以及佛蘭德斯大區(qū)首席大臣馬蒂亞斯?迪彭達勒共同為該設(shè)施揭幕。此后，企業(yè)和科研人員可在貼近實際的生產(chǎn)環(huán)境中，對全新的芯片設(shè)計方案、制造設(shè)備和工藝流程開展評估測試。

開放共享，打造全歐洲協(xié)同研發(fā)網(wǎng)絡(luò)

開放共享是 NanoIC 中試線的核心原則，初創(chuàng)企業(yè)、中小企業(yè)、科研機構(gòu)和大型工業(yè)企業(yè)均可使用該平臺，大幅降低了先進半導體研發(fā)的準入門檻。盡管該中試線由歐洲微電子研究中心運營，但它整合了全歐洲的優(yōu)質(zhì)科研資源，合作方包括法國原子能和替代能源委員會下屬的電子與信息技術(shù)實驗室（CEA-Leti）、德國弗勞恩霍夫研究所、芬蘭國家技術(shù)研究中心（VTT）、羅馬尼亞國家微電子研究中心（CSSNT）以及愛爾蘭廷德爾國家研究所。

NanoIC 是歐洲芯片法案框架下五大中試線之一，其余四個分別為 FAMES、APECS、WBG 和 PIXEurope 中試線。這些項目總計獲得歐盟和各國政府 37 億歐元的聯(lián)合投資，旨在打通歐洲強大的科研基礎(chǔ)與工業(yè)級規(guī)模制造之間的壁壘。本次 NanoIC 中試線的啟用，緊隨 1 月份 FAMES 中試線的落成，而距離歐盟委員會主席烏爾蘇拉?馮德萊恩首次提出《歐洲芯片法案》已過去近四年時間。

當前，歐盟各界已開始探討推出《歐洲芯片法案 2.0》，而 NanoIC 中試線的正式運營，標志著歐盟半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展從政策規(guī)劃邁入實際落地階段，進一步彰顯了歐盟實現(xiàn)半導體主權(quán)、提升供應(yīng)鏈韌性并增強長期產(chǎn)業(yè)競爭力的決心。