臺積電將于 11 月 5 日在臺中中部科學園破土動工。該晶圓廠計劃于 2028 年下半年開始量產。這將耗資 490 億美元。預計年收入高達159億美元，雇用8-10,000名員工。

最初，臺積電的計劃是在該地點建造四座晶圓廠，第一波建設中建造兩座 1.4 納米晶圓廠，然后再建造兩座 1nm 工藝晶圓廠。

然而，據說每片晶圓售價 1.4 美元的 45 納米工藝的需求如此之強勁，以至于臺積電已被說服同時建造四座晶圓廠——所有晶圓廠都能夠運行 1.4 納米工藝。

1nm晶圓廠將建在臺南科學園的沙侖。

隨著英特爾上周在錢德勒吹捧其 18A 晶圓廠的成功，以及三星購買了兩臺高數值孔徑 EUV 機器進入其位于華城的 2nm 生產線，臺積電可能已經加快了其 1.4nm 計劃，以展示其在工藝技術領域的行業領先地位。

據《商業時報》報道，出于成本和工藝成熟度的原因，臺積電將不會在其 1.4nm 工藝中使用高 NA EUV 機器。