概倫電子先進寬帶噪聲分析儀9812HF：刷新半導體噪聲測試標準
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簡介
概倫電子正式推出了全新的先進寬帶噪聲分析儀9812HF。先進寬帶噪聲測試儀9812HF，在兼具高精度、寬量程、寬阻抗測量能力的同時，將低頻噪聲測試系統的應用頻域拓展到了甚高頻，為半導體行業先進工藝制程優化、建模驗證設計、評估電路性能等領域高帶寬噪聲測試與分析需求，提供精準全面的噪聲數據支撐。
產品簡介
概倫電子噪聲測試系統 981X 系列是全球半導體行業低頻噪聲測試的“黃金標準”。先進寬帶噪聲分析儀9812HF 采用軟硬件創新設計，繼承了該系列高精度、寬量程、寬阻抗測量能力的同時，將低頻噪聲測試系統的應用頻域拓展到了甚高頻，旨在滿足半導體行業在先進工藝制程優化、建模驗證設計及電路性能評估等領域對高帶寬噪聲測試與分析日益增長的需求，提供更為精準和全面的數據支持。
9812HF 內置多種應用導向的電流和電壓放大器，創新性地引入了高精度甚高頻放大器，可高效實現噪聲功率譜密度的1/f噪聲、熱噪聲、RTN 噪聲測量。其領先的復合設計支持隨應用智能無感切換，滿足不同電壓噪聲測試和電流噪聲測試的多樣化嚴苛應用需求。該設備能夠適配不同阻抗器件在廣泛工作條件下的噪聲測試，支持晶圓級高精度測試，可滿足不同工藝平臺下半導體器件和集成電路從時域到頻域、從超低頻到甚高頻、從數據采集到數據分析的全面噪聲測量需求。
另外，9812HF 還可以通過并行測試架構解決方案以及協同概倫電子半導體參數測試系統等方式，大幅度地提高測試效率和吞吐量，降低測試成本，助力用戶加速產品研發與創新進程。
應用領域
MOSFET 與BJT晶體管
二極管與PN結
FinFET 和 FD-SOI 光子檢測器件
高壓器件和汽車電子
SiC 和GaN
噪聲敏感型集成電路
先進工藝下的器件噪聲特性
亞閾值區的器件特性
RTN分析和非破壞性缺陷分析
噪聲特性分析與建模
熱噪聲分析
射頻器件噪聲分析
高吞吐量并行噪聲測試
硬件規格
高帶寬：
最大測試帶寬：0.03Hz-100MHz
寬量程：
最大SMU輸入±100V, ±100mA, 2W
高精度：
最高DC電流精度：10pA
系統噪聲電流分辨率：<10-27A2/Hz
測試速度：
典型1/f噪聲測試速度可達20秒/bias
抗阻范圍：
阻抗匹配范圍：3Ω-30MΩ
Gate/Base 電阻多達16個選擇
Drain/Collector 電阻多達 15 個選擇
系統參數：
電壓放大器：0.03-10MHz, 0.65nV/√ Hz (@5kHz)
電流放大器：0.03-1MHz, 0.7pA/ √Hz (@5kHz)
寬帶電流放大器：0.03-10MHz, 5pA/ √Hz (@1MHz)
高精度電流放大器：0.03-20KHz, 60fA/ √Hz (@5KHz)
甚高頻電流放大器：100KHz-100MHz， 8.66pA/ √Hz (@1MHz)
可編程偏置濾波器 、ESD保護
內置16位DSA
支持多臺并行測試
軟件規格
9812HF系列內置NoiseProPlus 測量軟件，具備強大的噪聲測試和分析功能。該軟件的主要功能包括：
軟件界面友好，易于操作，可同時滿足測試控制、圖形顯示和數據分析需求
支持1/f 噪聲和RTN 噪聲測試，并具有專業的數據分析功能
測試結果可導出供用戶后續分析研究，支持測試數據直接導入概倫電子的先進器件建模平臺BSIMProPlus 和 一站式射頻建模平臺MeQLab，進行噪聲模型提取和特性分析
支持多種模式、多種器件在不同偏置下的手動/自動測試
支持驅動第三方測試儀器
支持驅動第三方探針臺實現手動/半自動/全自動測試
產品優勢
系統先進
領先的電流和電壓放大器復合設計，支持隨應用智能無感切換，引入的甚高頻放大器本底噪聲低至8.66pA/ √Hz (@1MHz)
創新地將卓越的性能、帶寬和可靠性融為一體，使系統最大帶寬達到0.03Hz-100MHz，輕松滿足各種工藝平臺下半導體器件和集成電路的嚴苛噪聲測試需求
性能優異
精度高，系統電流噪聲分辨率可達10-27 A2/Hz
速度快，典型1/f 噪聲測試在一個偏置條件下僅需20 秒，可在短時間內獲得精確可信的測試數據
高效便捷
支持1/f并行測試和RTN并行測試，提高測試效率
內置豐富的測試應用庫，操作簡單，可輕松完成應用測試
具備強大的測試分析和數據管理能力，直觀易用
應用廣泛
寬電壓、寬電流、寬阻抗測量范圍，支持晶圓級高精度和寬帶寬測試
可廣泛適用于從成熟制程到先進制程下的工藝質量評估，器件SPICE 模型開發，噪聲敏感型集成電路設計和驗證等應用，特別是甚高頻范圍的熱噪聲評估和射頻器件的噪聲特性評估
應用實例
1/f 噪聲測試，100MHz帶寬
熱噪聲測試
1/f噪聲測試，電流功率譜
RTN噪聲測試
1/f 噪聲測試
1/f 噪聲測試，電壓功率譜
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