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薄膜技術

　　薄膜技術(thin film technique) 　　與薄膜制備、測試等相關的各種技術的總稱。薄膜是一種特殊的物質形態，由于其在厚度這一特定方向上尺寸很小，只是微觀可測的量，而且在厚度方向上由于表面、界面的存在，使物質連續性發生中斷，由此使得薄膜材料產生了與塊狀材料不同的獨特性能。薄膜的制備方法很多，如氣相生長法、液相生長法(或氣、液相外延法)、氧化法、擴散與涂布法、電鍍法等等，而每一種制膜方法中又可分為若干種方法。薄膜技術涉及的范圍很廣，它包括以物理氣相沉積和化學氣相沉積為代表的成膜技術，以離子束刻蝕為代表的微細加工技術，成膜、刻蝕過程的監控技術，薄膜分析、評價與檢測技術等等。

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