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白光干涉儀

  白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù),是專為準(zhǔn)確測(cè)量表面輪廓、粗糙度、臺(tái)階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計(jì)的微納米測(cè)量系統(tǒng),,為韓國SAMSUNG全球唯一指定供應(yīng)商,LPL友好俱樂部成員,清華大學(xué),臺(tái)灣大學(xué),首爾大學(xué)友好合作伙伴。  1、非接觸式測(cè)量:避免物件受損。  2、三維表面測(cè)量:表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm。  3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。

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