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單片集成電路

　　名稱: 單片集成電路 （monolithic integration） 　　主題詞或關鍵詞: 信息科學 砷化鎵 集成電路 　　內容 　　單片集成電路是獨立實現單元電路功能，不需外接元器件的集成電路。要實現單片集成，需要解決一些不易微小型化的電阻、電容元件和功率器件的集成，以及各元件在電路性能上互相隔離的問題。 　　單片集成電路從小、中規模發展到大規模、超大規模集成電路，使平面工藝得到相應的發展。如摻雜技術由擴散改為離子注入，常規紫外光刻發展到電子束曝光、等離子體刻蝕和反應離子銑，常規氣相外延改為超高真空分子束外延，采用化學氣相沉積制造二氧化硅和多晶硅膜等。查看更多>>

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