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硅電容式壓力傳感器

電容式壓力傳感器 　　capacitive type pressure transducer 　　利用電容敏感元件將被測壓力轉換成與之成一定關系的電量輸出的壓力傳感器。它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一個電極，當薄膜感受壓力而變形時，薄膜與固定電極之間形成的電容量發生變化，通過測量電路即可輸出與電壓成一定關系的電信號。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器，可分為單電容式壓力傳感器和差動電容式壓力傳感器。 　　單電容式壓力傳感器 它由圓形薄膜與固定電極構成。查看更多>>

  • 硅電容式壓力傳感器資訊

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華潤矽威 集成電路 2009-06-15
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