EEPW
技術應用
FabEX是一種優化的、“無需等待”的自動物料傳送系統,擁有其專利技術,傳送晶圓盒的速度非常快(>3米/秒),因而,能縮短生產周期,提高設備的利用率和增加生產產能。與采用傳統運輸裝置或者懸吊式搬運車輛的AMHS相比,FabEX速度更快,它能夠曲線移動或者爬坡,擺動小,有效控制了顆粒物的產生。由于FabEX不需要任何搬運車輛,所以它能提供很高的產能。以上特性都基于IP 技術控制和軟件,它能與晶圓廠實現無縫整合。查看更多>>
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