半導體氣體傳感器
半導體氣體傳感器是利用半導體氣敏元件作為敏感元件的氣體傳感器,是最常見的氣體傳感器,廣泛應用于家庭和工廠的可燃氣體泄露檢測裝置,適用于甲烷、液化氣、氫氣等的檢測。 半導體氣體傳感器是利用氣體在半導體表面的氧化還原反應導致敏感元件組織發生變化而制成的。當半導體器件被加熱到穩定狀態,在氣體接觸半導體表面而被吸附時,被吸附的分子首先在物體表面自由擴散,失去運動能量,一部分分子被蒸發掉,另一部分殘留分子產生熱分解吸附在物體表面。當半導體的功函數小于吸附分子的親和力,則吸附分子將從器件奪走電子而變成負離子吸附,半導體表面呈現電荷層。