激光檢測
激光檢測意即獎激光作為光源,配以相應的光電元件來實現的檢測技術,它利用了激光的優異特性,具有精度高、測量范圍大、檢測時間短、非接觸式等優點,常用于測量長度、位移、速度、振動等參數。 在光電檢測領域,利用光的干涉、衍射和散射進行檢測已經有很長的歷史。由泰曼干涉儀到莫爾條紋,然后到散斑,再到全息干涉,出現了一個個干涉場,物理量(如位移、溫度、壓力、速度、折射率等) 的測量不再需要單獨測量,而是整個物理量場一起進行測量。自從激光出現以后,電子學領域的許多探測方法(如外差、相關、取樣平均、光子計數等) 被引入,使測量靈敏度和測量精度得到大大提高。