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離子注入技術

　　離子注入技術是把某種元素的原子電離成離子，并使其在幾十至幾百千伏的電壓下進行加速，在獲得較高速度后射入放在真空靶室中的工件材料表面的一種離子束技術。材料經離子注入后，其表面的物理、化學及機械性能會發生顯著的變化，金屬表層所產生的持續耐磨損能力可以達到初始注入深度的2～3個數量級?！?　離子注入是將離子源產生的離子經加速后高速射向材料表面，當離子進入表面，將與固體中的原子碰撞，將其擠進內部，并在其射程前后和側面激發出一個尾跡。這些撞離原子再與其它原子碰撞，后者再繼續下去，大約在10-11s內，材料中將建立一個有數百個間隙原子和空位的區域（如圖1所示）。

  • 離子注入技術資訊

離子注入技術概述及應用實例

什么是離子注入技術

離子注入技術 2011-05-27

離子注入技術的發展趨勢及典型應用

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