藍寶石襯底
目錄
1 簡介
2 藍寶石
3 碳化硅
4 硅襯底
5 性能比較
6 材料評價
? 氮化鎵
? 氧化鋅
? 藍寶石
? 碳化硅
簡介
對于制作LED芯片來說,襯底材料的選用是首要考慮的問題。應該采用哪種合適的襯底,需要根據設備和LED器件的要求進行選擇。市面上一般有三種材料可作為襯底:
·藍寶石(Al2O3)、硅(Si)、碳化硅(SiC)
藍寶石
通常,GaN基材料和器件的外延層主要生長在藍寶石襯底上。藍寶石襯底有許多的優點:首先,藍寶石襯底的生產技術成熟、器件質量較好;其次,藍寶石的穩定性很好,能夠運用在高溫生長過程中;最后,藍寶石的機械強度高,易于處理和清洗。