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國(guó)產(chǎn)3nm芯片刻蝕機(jī)取得突破美企多次竊取中微專利

近日，國(guó)產(chǎn)芯片行業(yè)傳來好消息。據(jù)媒體報(bào)道，中微公司成功研制出3nm蝕刻機(jī)，且完成了原型機(jī)的設(shè)計(jì)、制造、測(cè)試及初步的工藝開發(fā)和評(píng)估，并已進(jìn)入量產(chǎn)階段。之前，中微的等離子體刻蝕設(shè)備已應(yīng)用在國(guó)際一線客戶先進(jìn)集成電路加工制造生產(chǎn)...

中微 3nm蝕刻機(jī) 2021-05-08

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3nm蝕刻機(jī)

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