EEPW
技術應用
MEMS(Micro-Electro-Mechanical SystEMS)是指集機械元素、微型傳感器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的完整微型機電系統。MEMS慣性傳感器可構成低成本的INS/ GPS 組合導航系統 ,是一類非常適合構建微型捷聯慣性導航系統的慣性傳感器。MEMS慣性傳感器的突出特點使其在眾多的民用和軍用領域具有廣闊的應用前景。 MEMS技術最早由Richard Pfeynman(1965年獲得諾貝爾物理獎),在1959年提出設想。
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