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激光干涉儀

laser interferometer   以激光波長為已知長度利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。工具激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。   激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個具有干涉作用的測量系統。

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