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MEMS開關(guān)

MEMS開關(guān)就是MEMS技術(shù)的具體應(yīng)用。顧名思義,開關(guān)就是來控制電路通斷狀況的,高效、快速反應(yīng)、準(zhǔn)確、重復(fù)使用頻率、高可靠性是現(xiàn)代電路系統(tǒng)對開關(guān)的特殊要求。MEMS開關(guān)的研究始于1979年IBM的K。E。

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