據外國媒體報道，荷蘭微影設備廠ASML宣布，三星公司已同意向ASML投資5.03億歐元(約合6.29億美元)，獲得該公司3%股權。此外，三星承諾在未來5年將向ASML公司投資2.76億歐元(約合3.45億美元)，支持ASML研發下一代微影技術。

　　此前，臺積電和英特爾公司已宣布分別以8.38億歐元和33億歐元收購ASML公司5%和15%股權。同時，臺積電公司承諾在未來5年向ASML投入2.76億歐元，用于ASML的研發計劃。

　　ASML公司之前曾邀英特爾、臺積電和三星等公司加入由其創建的“客戶聯合投資專案”。ASML客戶聯合投資專案包括合作研發基金計劃，加速18寸半導體及EUV微影技術開發，同時也釋出最多25%股權讓客戶入股，以做為未來18寸半導體及EUV微影設備推出后的交貨保證。 截止到目前為止，ASML已經完成13.8億歐元的研發融資目標。

　　目前包括三星、英特爾等幾乎主要半導體生產商都在其芯片中使用由ASML公司設計和研發的系統。ASML公司表示，“客戶聯合投資專案”的最終目標是為消費者創造更小、更強、更節能和更低廉的電子設備。