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微傳感器

　　微傳感器 　　微傳感器是一種基于半導體工藝技術的新一代傳感器器件，它應用新的工作機制和物化效應，采用與標準半導體工藝兼容的材料，用微細加工技術制備的。微傳感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特點而越來越受到青睞。 　　1分類 　　微傳感器的分類： 　　根據是否有能源供應，可以分為有源微傳感器（例如：壓電）和無源微傳感器（例如：熒光） 　　根據微傳感器所能測量的對象不同，還可以分為如下九類： 　　機械微傳感器：用于力、形變、位移和速度等測量的微傳感器。 　　電學微傳感器：用于電流、電位、電阻和電容等測量的微傳感器。

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