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技術應用
微傳感器 微傳感器是一種基于半導體工藝技術的新一代傳感器器件,它應用新的工作機制和物化效應,采用與標準半導體工藝兼容的材料,用微細加工技術制備的。微傳感器因其微型化、智能化、低功耗、易集成的特點而越來越受到青睞。 1分類 微傳感器的分類: 根據是否有能源供應,可以分為有源微傳感器(例如:壓電)和無源微傳感器(例如:熒光) 根據微傳感器所能測量的對象不同,還可以分為如下九類: 機械微傳感器:用于力、形變、位移和速度等測量的微傳感器。 電學微傳感器:用于電流、電位、電阻和電容等測量的微傳感器。查看更多>>
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