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薄膜電阻

薄膜電阻具有均勻厚度薄膜電阻的量度。通常被用作評估半導(dǎo)體摻雜的結(jié)果。這種工藝的例子有:參雜半導(dǎo)體領(lǐng)域(比如硅或者多晶硅),以及被絲網(wǎng)印刷到薄膜混合微電路基底上的電阻。 薄膜電阻這一概念的使用,與電阻或者電阻率相對,是它直接用四終端感應(yīng)測量法(也稱為四點(diǎn)探針測量法)來測量。

sxwdz2021|瀏覽:1119|回復(fù):6| kutta 2022-12-14 10:57:41
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