EEPW
技術應用
薄膜電阻具有均勻厚度薄膜電阻的量度。通常被用作評估半導體摻雜的結果。這種工藝的例子有:參雜半導體領域(比如硅或者多晶硅),以及被絲網印刷到薄膜混合微電路基底上的電阻。 薄膜電阻這一概念的使用,與電阻或者電阻率相對,是它直接用四終端感應測量法(也稱為四點探針測量法)來測量。查看更多>>
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薄膜電阻