偏壓電源
偏壓電源
中文名偏壓電源
外文名Bias power supply
定 義真空電弧離子鍍
應 用在鍍膜工藝中為工件提供負偏壓
目錄
1定義:
2作用
3技術說明
1定義:
偏壓電源(Bias power supply )是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設備中一個重要組件,在鍍膜工藝流程中為工件提供負(或正)偏壓。
2作用
1)提高真空等離子體內帶電粒子的能量,轟擊清洗所鍍工件表面,使工件表面經受高能粒子撞擊后得到嶄新的表層,從而提高后續沉積膜層的結合力
2)提高并控制真空等離子體內帶電粒子的能量,提高膜層與工件基體結合力
3)靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積規則,調整膜層顏色
4)克服偏壓電源工作于真空等離子體環境中,由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件
3技術說明
偏壓電源工作于二級高頻變換模式,單極脈沖方式輸出。電源的電壓調整通過改變高頻變換電路的電源電壓來實現,調壓電路具有1%的穩率。高頻變換電路產生10-90%脈沖電壓。查看更多>>