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傳俄羅斯2028年量產7nm光刻設備

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遼沈地區半導體裝備產業強勢崛起

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芯碩精密機械落戶天津開發區

芯碩 光刻設備 2011-08-03

挺進20nm:臺積電2011年將開始在Fab12工廠裝用ASML產EUV光刻設備

臺積電 20nm 2010-06-28

32nm制程用沉浸光刻設備客戶需求量劇增:ASML公司召回先前遭辭退員工

ASML 32nm 2010-06-17
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