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微機電系統

　　微機電系統是指可批量制作的，集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發展而發展起來的。MEMS的特點是： 　　1)微型化：MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應時間短。 　　2)以硅為主要材料，機械電器性能優良：硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當，密度類似鋁，熱傳導率接近鉬和鎢。查看更多>>

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