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離子探針

  離子探針是用聚焦的一次離子束作為微探針轟擊樣品表面,測射出原子及分子的二次離子,在磁場中按質荷比(m/e)分開,可獲得材料微區質譜圖譜及離子圖像,再通過分析計算求得元素的定性和定量信息。離子探針適用于許多不同類型的樣品分析,包括金屬樣品、半導體器件、非導體樣品,如高聚物和玻璃產品等。廣泛應用于金屬、半導體、催化劑、表面、薄膜等領域中以及環保科學、空間科學和生物化學等研究部門。  主要包括四部分:  1、能夠產生加速和聚焦一次離子束的離子源;  2、樣品室和二次離子引出裝置;  3、能把二次離子按質荷比分離的質量分析器;  4、二次離子檢測和顯示系統及計算機數據處理系統等。

  • 離子探針資訊

離子探針顯微分析的工作原理和構成

離子探針 顯微 2012-01-07
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