離子探針
離子探針是用聚焦的一次離子束作為微探針轟擊樣品表面,測射出原子及分子的二次離子,在磁場中按質荷比(m/e)分開,可獲得材料微區質譜圖譜及離子圖像,再通過分析計算求得元素的定性和定量信息。離子探針適用于許多不同類型的樣品分析,包括金屬樣品、半導體器件、非導體樣品,如高聚物和玻璃產品等。廣泛應用于金屬、半導體、催化劑、表面、薄膜等領域中以及環保科學、空間科學和生物化學等研究部門。 主要包括四部分: 1、能夠產生加速和聚焦一次離子束的離子源; 2、樣品室和二次離子引出裝置; 3、能把二次離子按質荷比分離的質量分析器; 4、二次離子檢測和顯示系統及計算機數據處理系統等。