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標簽 離子探針技術(shù)社區(qū)

離子探針

　　離子探針是用聚焦的一次離子束作為微探針轟擊樣品表面，測射出原子及分子的二次離子，在磁場中按質(zhì)荷比（m/e）分開，可獲得材料微區(qū)質(zhì)譜圖譜及離子圖像，再通過分析計算求得元素的定性和定量信息。離子探針適用于許多不同類型的樣品分析，包括金屬樣品、半導體器件、非導體樣品，如高聚物和玻璃產(chǎn)品等。廣泛應(yīng)用于金屬、半導體、催化劑、表面、薄膜等領(lǐng)域中以及環(huán)保科學、空間科學和生物化學等研究部門。　　主要包括四部分：　　1、能夠產(chǎn)生加速和聚焦一次離子束的離子源；　　2、樣品室和二次離子引出裝置；　　3、能把二次離子按質(zhì)荷比分離的質(zhì)量分析器；　　4、二次離子檢測和顯示系統(tǒng)及計算機數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等。查看更多>>

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離子探針顯微分析的工作原理和構(gòu)成

離子探針 顯微 2012-01-07
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