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西門子法

改良西門子法 　　多晶硅生產的西門子工藝，其原理就是在1100℃左右的高純硅芯上用高純氫還原高純三氯氫硅，生成多晶硅沉積在硅芯上。改良西門子工藝是在傳統西門子工藝的基礎上，同時具備節能、降耗、回收利用生產過程中伴隨產生的大量H2、HCI、SiCI4等副產物以及大量副產熱能的配套工藝。目前世界上絕大部分廠家均采用改良西門子法生產多晶硅。 　　改良西門子法相對于傳統西門子法的優點主要在于： 　　1）節能： 　　由于改良西門子法采用多對棒、大直徑還原爐，可有效降低還原爐消耗的電能； 　　2）降低物耗：改良西門子法對還原尾氣進行了有效的回收。

  • 西門子法資訊

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