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XPS=X-ray Photoelectron Spectroscopy X射線光電子能譜分析   1887年,Heinrich Rudolf Hertz發現了光電效應。二十年后的1907年,P。D。 Innes用倫琴管、亥姆霍茲線圈、磁場半球 (電子能量分析儀)和照像平版做實驗來記錄寬帶發射電子和速度的函數關系。

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