中國(guó)朝向國(guó)產(chǎn)紫外真空光刻能力的漫長(zhǎng)進(jìn)程似乎正在縮小，近期發(fā)展顯示進(jìn)展速度超乎預(yù)期。據(jù)路透社報(bào)道，消息人士稱(chēng)中國(guó)已組裝了一臺(tái)使用舊ASML系統(tǒng)組件的EUV原型機(jī)。

正如報(bào)道所示，消息人士稱(chēng)中國(guó)政府目標(biāo)是在2028年前生產(chǎn)使用該原型機(jī)的實(shí)用芯片，盡管2030年被視為更現(xiàn)實(shí)的目標(biāo)。原型機(jī)的存在表明，中國(guó)距離半導(dǎo)體自給自足可能比此前預(yù)期的更近數(shù)年。

報(bào)道援引消息人士稱(chēng)，原型機(jī)于2025年初完成，目前正在進(jìn)行測(cè)試。報(bào)告補(bǔ)充說(shuō)，雖然該機(jī)器已運(yùn)行并具備極紫外光的能力，但尚未生產(chǎn)出可工作的芯片。

據(jù)報(bào)道，前ASML工程師參與了EUV項(xiàng)目

報(bào)道援引消息人士稱(chēng)，該原型機(jī)由前ASML工程師開(kāi)發(fā)，他們?cè)谑褂没ぷ饕员３謾C(jī)密的情況下逆向工程極紫外飛行設(shè)備，補(bǔ)充說(shuō)，沒(méi)有他們深厚的第一手專(zhuān)業(yè)知識(shí)，這項(xiàng)工作幾乎不可能完成。

報(bào)告補(bǔ)充稱(chēng)，招募這些前ASML老將是2019年發(fā)起的積極人才招募活動(dòng)的一部分，旨在吸引海外半導(dǎo)體專(zhuān)家，提供300萬(wàn)至500萬(wàn)元（約合42萬(wàn)至70萬(wàn)美元）的簽約獎(jiǎng)金及購(gòu)房補(bǔ)貼。值得注意的是，報(bào)道提到，這些新成員包括ASML前光源技術(shù)負(fù)責(zé)人林楠，他所在的中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)研究所團(tuán)隊(duì)在過(guò)去18個(gè)月內(nèi)申請(qǐng)了8項(xiàng)極紫外光源專(zhuān)利。

據(jù)報(bào)道，華為是EUV項(xiàng)目的核心

除了前ASML工程師外，報(bào)告援引消息人士稱(chēng)，盡管EUV項(xiàng)目由中國(guó)政府主導(dǎo)，華為在協(xié)調(diào)全國(guó)范圍內(nèi)的企業(yè)和國(guó)家科研機(jī)構(gòu)網(wǎng)絡(luò)中發(fā)揮著核心作用，該網(wǎng)絡(luò)涉及數(shù)千名工程師。

報(bào)告指出，華為已派遣員工到全國(guó)各地的辦公室、晶圓廠和研究中心，以支持該項(xiàng)工作。據(jù)報(bào)道引用的消息人士透露，分配給該項(xiàng)目的員工常常在工作日內(nèi)留在現(xiàn)場(chǎng)，且由于工作敏感性，回家時(shí)受到限制，電話訪問(wèn)也受限。

當(dāng)前原型的局限性

雖然中國(guó)已開(kāi)發(fā)出EUV原型，但報(bào)告指出其技術(shù)遠(yuǎn)不及ASML系統(tǒng)先進(jìn)。原型機(jī)具備測(cè)試功能，但中國(guó)仍面臨重大技術(shù)難題——尤其是在匹配西方供應(yīng)商生產(chǎn)的超精密光學(xué)系統(tǒng)方面。

據(jù)報(bào)道中引用的消息人士透露，中國(guó)的原型機(jī)落后于ASML的機(jī)器，主要是因?yàn)檠芯咳藛T難以獲得如德國(guó)蔡司公司（ASML重要合作伙伴）提供的超精密光學(xué)系統(tǒng)。與此同時(shí)，據(jù)稱(chēng)原型機(jī)將使用日本尼康和佳能的出口限制組件。