芯片是中美貿易戰關鍵之一，中國力求半導體供應鏈自給自足。 路透社周二（30日）報導，3名知情人士透露，中方近日開始要求境內芯片制造商增加產能時必須使用50%的國產設備。 雖非明文規定，但近幾個月來制造商申請興建或擴建廠房時，政府部門已告知必須出具采購招標證明半數設備為中國制。

路透社指出，這是中國為了擺脫依賴外國技術而采取的最重要措施之一。 2023年美國針對技術出口至中國大陸設限，甚至禁止向中國輸出先進AI芯片與半導體設備，中國因而加速推動供應鏈自給自足。 受這項50%規定影響，在部分仍可選購美國、日本、韓國、歐洲等國設備的領域，中國芯片制造商也傾向選擇國產設備。

高端芯片產線可望放寬

消息人士透露，未達這個門檻的建廠或擴建案往往遭駁回，不過相關部門會依供應受限的情況彈性處理，國產設備尚未完全普及的高階芯片產線可獲放寬。 知情人士之一說：「相關部門有意把門檻拉到遠高于50%，最終目標是讓工廠制造設備百分百國產。」中國工業和信息化部（工信部）尚未置評此事。

近期不斷提倡「全民參與」，半導體供應鏈是重點之一，已在產學各環節展開。 路透社稍早報導，即使美國試圖阻止多年，中國科學家仍持續研發能制造尖端芯片的原型機。 曾任職國產設備制造商北方華創（Naura Technology）的一名員工表示，「中芯這類本土晶圓廠原本只想用美國設備，完全不考慮中國制造商，但2023年美國出口限制后情況有了改變，中國晶圓廠只能與本土供應商合作」。

風向變了

公開資料顯示，中國國營企業今年訂購本土光刻機與零件的訂單量已421筆，創歷史新高，總值人民幣約8.5億元，本土研發技術需求量激增。 為支持本土芯片供應鏈，北京官方也以「大基金」巨額注資，「大基金3」2024年啟動，規模人民幣3440億元。

消息人士表示，政策已于蝕刻（etching）等領域展現初步成效。 蝕刻是芯片制造關鍵環節。 其中2名知情者透露，中國最大芯片設備集團北方華創的蝕刻設備正在中芯一條7納米生產線測試。 北方華創近期已成功部署旗下出品設備于14納米產線，這項初期進展顯示本土供應商進步飛速。

美日大廠蝕刻設備優勢消退

消息人士之一說，「政府要求晶圓廠使用至少5成國產設備，加快北方華創蝕刻設備研發速度」，而且北方華創也必須迅速改善設備。 此前，中國境內高端蝕刻設備主由美商科林研發（Lam Research）、日商東京威力科創（Tokyo Electron）等外商供應，如今北方華創與規模較小的競爭對手中微半導體（AMEC）逐漸取而代之。

消息人士還透露，北方華創已成中國存儲器芯片制造商的重要合作伙伴。 這家公司還開發了靜電吸盤（electrostatic chuck），遞補2023年華府限令后科林研發設備磨損零件無法維修的需求。

上述業者均未回應路透社置評要求。 根據美國知識產權管理業者Anaqua的AcclaimIP數據庫，北方華創2025年專利申請779項打破紀錄，這是2020、2021年申請數2倍有余。 中微今年也申請了259項專利。 兩家財務由此獲得強勁成長力道。

分析師估計，中國的光阻去除與清洗設備自給率已達50%左右，這個市場原由日本廠主導，現在則由北方華創擔任領頭羊。 另一消息來源認為，「本土設備市場日后將由2到3家大廠主導，其中之一無疑是北方華創」。