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Gigaphoton資訊

Gigaphoton發布新的DUV光源產品規劃圖

　　半導體光刻光源的主要供應商Gigaphoton株式會社(母公司：栃木縣小山市，董事長：浦中克己)宣布，為提高設備的工作效率，公司將制定新的產品規劃圖，以應對需求量不斷高漲的半導體廠家的要求。　　Gigaphoto...

Gigaphoton DUV 2017-11-17

Gigaphoton將LPP EUV光源輸出端最大等效功率提升至20W級別

　　Gigaphoton公司18日宣布已經成功將LPP EUV光源產品的輸出端等效最大功率推進到了20W水平。該公司達成這個目標所使用的方法是，使用固態預脈沖激光器，100khz頻率的CO2激光來轟擊錫靶標。采用這種方法...

Gigaphoton EUV光源 2013-02-20

EUV光源廠商散伙

　　日本的Komatsu和Ushio稍早前宣布，已終止有關光源合資企業Gigaphoton的合作協議。Komatsu將從Ushio手中買下50%股權。未來Gigaphoton將成為Komatsu的全資子公司。而此舉會為E...

Gigaphoton EUV光源 2011-04-29

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