LTPS
什么是低溫多晶硅:
低溫多晶硅LTPS是Low Temperature Ploy Silicon的縮寫,一般情況下低溫多晶硅的制程溫度應低于攝氏600度,尤其對LTPS區別于a-Si制造的制造程序“激光退火”(laser anneal)要求更是如此。與a-Si相比,LTPS的電子移動速度要比a-Si快100倍,這個特點可以解釋兩個問題:首先,每個LTPS PANEL 都比a-Si PANEL反應速度快;其次,LTPS PANEL 外觀尺寸都比a-Si PANEL小。下面是LTPS與a-Si 相比所持有的顯著優點:
1、 把驅動IC的外圍電路集成到面板基板上的可行性更強;
2、 反應速度更快,外觀尺寸更小,聯結和組件更少;
3、 面板系統設計更簡單;
4、 面板的穩定性更強;
5、 解析度更高,
激光退火:
p-Si 與 a-Si的顯著區別是LTPS TFT在制造過程中應用了激光照射。LTPS制造過程中在a-Si層上進行了激光照射以使a-Si結晶。查看更多>>