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極紫外光刻

　　目錄　　1 定義　　2 概述　　3 背景　　4 展望　　定義　　極紫外光刻（Extreme Ultraviolet Lithography），常稱作EUV光刻，它以波長(zhǎng)為10-14納米的極紫外光作為光源的光刻技術(shù)。具體為采用波長(zhǎng)為13。4nm 的軟x 射線。　　概述　　EUV光刻采用波長(zhǎng)為10-14納米的極紫外光作為光源，可使曝光波長(zhǎng)一下子降到13。

極紫外光刻新技術(shù)問(wèn)世，超越半導(dǎo)體制造業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)界限

據(jù)科技日?qǐng)?bào)報(bào)道稱，日本沖繩科學(xué)技術(shù)大學(xué)院大學(xué)（OIST）官網(wǎng)最新報(bào)告，該校設(shè)計(jì)了一種極紫外（EUV）光刻技術(shù)，超越了半導(dǎo)體制造業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)界限。基于此設(shè)計(jì)的光刻設(shè)備可采用更小的EUV光源，其功耗還不到傳統(tǒng)EUV光刻機(jī)的十分之...

極紫外光刻半導(dǎo)體制造 2024-08-05

EUV光刻機(jī)訂單少了？ASML下調(diào)Q1季度營(yíng)收預(yù)期暫停股票回購(gòu)

由于COVID-19新冠病毒在全球的蔓延,多個(gè)行業(yè)的生產(chǎn)、消費(fèi)都受到影響了,半導(dǎo)體行業(yè)也不例外。ASML公司今天宣布下調(diào)Q1季度營(yíng)收預(yù)期,同時(shí)暫停股票回購(gòu),不過(guò)他們沒(méi)公布EUV光刻機(jī)出貨量是否受影響了。今年1月份ASML...

阿斯麥光刻機(jī) 2020-04-01

ASML研發(fā)下一代EUV光刻機(jī)：分辨率提升70% 逼近1nm極限

在EUV光刻機(jī)方面,荷蘭ASML(阿斯麥)公司壟斷了目前的EUV光刻機(jī),去年出貨26臺(tái),創(chuàng)造了新紀(jì)錄。據(jù)報(bào)道,ASML公司正在研發(fā)新一代EUV光刻機(jī),預(yù)計(jì)在2022年開始出貨。根據(jù)ASML之前的報(bào)告,去年他們出貨了26臺(tái)...

光刻機(jī) 極紫外光刻 2020-03-18

ASML研發(fā)下一代EUV光刻機(jī)：分辨率提升70% 逼近1nm極限

光刻機(jī) 極紫外光刻 2020-03-17

中芯國(guó)際稱7nm EUV光刻機(jī)問(wèn)題已解決技術(shù)研發(fā)步入正軌

在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入10nm節(jié)點(diǎn)之后，制造越來(lái)越困難，其中最復(fù)雜的一步——光刻需要用到EUV光刻機(jī)了，而后者目前只有荷蘭ASML阿斯麥公司才能供應(yīng)。中芯國(guó)際去年也訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī)，日前該公司表示與ASML之間已解決光刻...

光刻機(jī) 極紫外光刻 2019-12-10

ASML發(fā)布Q2季度財(cái)報(bào) EUV光刻機(jī)產(chǎn)能大增

掌握全球唯一EUV光刻機(jī)研發(fā)、生產(chǎn)的荷蘭ASML（阿斯麥）公司今天發(fā)布了2019年Q2季度財(cái)報(bào)，當(dāng)季營(yíng)收25.68億歐元，其中凈設(shè)備銷售額18.51億歐元，總計(jì)出貨了41臺(tái)光刻機(jī)，其中EUV光刻機(jī)7臺(tái)。...

阿斯麥極紫外光刻 2019-07-19

光刻膠材料的重大突破極紫外光刻邁向?qū)嵱?/a>

新式半導(dǎo)體光刻技術(shù)中，極紫外光刻(EUV)被認(rèn)為是最有前途的方法之一，不過(guò)其實(shí)現(xiàn)難度也相當(dāng)高，從上世紀(jì)八十年代 ......

光刻膠極紫外光刻 2011-11-03

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極紫外光刻

極紫外光刻新技術(shù)問(wèn)世，超越半導(dǎo)體制造業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)界限

EUV光刻機(jī)訂單少了？ASML下調(diào)Q1季度營(yíng)收預(yù)期暫停股票回購(gòu)

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