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技術應用
薄膜晶體管 (英文名稱為Thin-film transistor,簡稱TFT) 是場效應晶體管的種類之一,大略的制作方式是在基板上沉積各種不同的薄膜,如半導體主動層、介電層和金屬電極層。 TFT是在基板 (如是應用在液晶顯示器,則基板大多使用玻璃) 上沉積一層薄膜當做通道區。 大部份的TFT是使用氫化非晶硅 (a-Si:H) 當主要材料,因為它的能階小于單晶硅 (Eg = 1。12eV),也因為使用a-Si:H當主要材料,所以TFT大多不是透明的。
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薄膜晶體管