EEPW
技術應用
單片微波集成電路(MMIC), 有時也稱射頻集成電路(RFIC),它是隨著半導體制造技術的發展,特別是離子摻入控制水平的提高和晶體管自我排列工藝的成熟而出現的一類高頻放大器件。在這類器件中,作為反饋和直流偏置元件的各個電阻器都采用具有高頻特性的薄膜電阻,并且與各有源器件一起封裝在一個芯片上,這使得各零件之間幾乎無連線,從而使電路的感抗降至最低,且分布電容也極小,因而可用在工作頻率和頻寬都很高的MMIC放大器中。目前,MMIC的工作頻率已可做到40GHz,頻寬也已達到15GHz,因而可廣泛應用于通信和GPS, 等各類設備的射頻、中頻和本振電路中。 根據制作材料和內部電路結構的不同,MMIC可以分成兩大類:一類是基于硅晶體管的MMIC,另一類是基于砷化鎵場效應管(GaAs FET)的MMIC。
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