EEPW
技術應用
MEMS技術是一種制造技術,MEMS技術把電子和機械特性結合了起來,可以同時執行物理、化學、生物等方面的功能,因為它能同時發生化學反應和電作用。它實質上是終極的片上系統,是科學和技術的終極融合,而且生物也可以與之兼容。 1。微型化:MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應時間短。
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