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國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備加速崛起

據(jù)《日經(jīng)亞洲》報道，日本研究機構(gòu)Global Net數(shù)據(jù)顯示，2025年全球芯片設(shè)備廠商前20強中有3家中國企業(yè)，較2022年美國出口限制前新增2家。這三家公司分別是北方華創(chuàng)、中微公司和上海微電子。值得注意的是，若將范圍...

半導(dǎo)體設(shè)備 ASML 2026-02-03

ASML計劃裁員4%，簡化技術(shù)部門內(nèi)的決策流程

全球最大的先進(jìn)芯片荷蘭制造商ASML在公布其銷售額連續(xù)第十三年實現(xiàn)增長后，CEO克里斯托夫·富凱（Christophe Fouquet）在聲明中表示，計劃裁減約1700個工作崗位，作為其技術(shù)和IT運營重組的一部分。此次裁...

ASML DUV 2026-01-29

三星首次引入紫外層薄膜是在美國泰勒工廠

三星電子將首次在美國泰勒晶圓廠推出“極紫外（EUV）薄膜”，這是一種提升先進(jìn)半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)力的關(guān)鍵組件。此前尚不清楚是否會引入，但通過訂購關(guān)鍵設(shè)備幾乎確認(rèn)了申請。根據(jù)22日的行業(yè)報道，三星電子已在美國德克薩斯州泰勒工廠訂...

三星紫外層薄膜 2026-01-26

中國EUV技術(shù)實現(xiàn)突破，半導(dǎo)體競賽格局生變

隨著計算技術(shù)的進(jìn)步，越來越多的先進(jìn)芯片應(yīng)運而生。最新一代 3 納米和 2 納米制程芯片的尺寸極小，傳統(tǒng)光源波長已無法在如此精細(xì)的尺度上實現(xiàn)可靠的圖形光刻。這一挑戰(zhàn)并非新題 —— 半導(dǎo)體行業(yè)長期以來一直使用深紫外光刻（DU...

EUV 半導(dǎo)體 2025-12-25

據(jù)報道，中國利用較舊的ASML組件制造EUV原型機，Eyes 2028芯片制造

中國朝向國產(chǎn)紫外真空光刻能力的漫長進(jìn)程似乎正在縮小，近期發(fā)展顯示進(jìn)展速度超乎預(yù)期。據(jù)路透社報道，消息人士稱中國已組裝了一臺使用舊ASML系統(tǒng)組件的EUV原型機。正如報道所示，消息人士稱中國政府目標(biāo)是在2028年前生產(chǎn)使用...

ASML EUV 2025-12-19

ASML CEO警告：過度封鎖或加速中國技術(shù)自主

全球光刻機巨頭阿斯麥（ASML）首席執(zhí)行官克里克里斯托夫·富凱（Christophe Fouquet）在專訪時，談到了被禁止向中國出口所有EUV設(shè)備及最先進(jìn)的深紫外（DUV）光刻設(shè)備，就當(dāng)前西方對華光刻機出口限制政策，拋...

ASML DUV 2025-12-16

使用電子噪聲和抗蝕劑模糊模型預(yù)測隨機EUV缺陷密度

近年來，首次直接解決了EUV光刻中二次電子噪聲的統(tǒng)計及其對缺陷概率的影響[1]。在本文中，我們將考慮一些更新的 EUV 抗蝕劑模糊模型，包括化學(xué)放大（CAR）和金屬氧化物（MOR）類型。首先，讓我們回顧一下推導(dǎo) ...

電子噪聲抗蝕劑 2025-11-10

4億美元太貴！臺積電仍拒絕購買ASML的High-NA EUV設(shè)備

目前，生產(chǎn)尖端半導(dǎo)體必不可少的EUV（極紫外）光刻設(shè)備由荷蘭ASML獨家供應(yīng)，而臺積電2nm工藝就是利用現(xiàn)有的EUV設(shè)備實現(xiàn)晶圓的大規(guī)模量產(chǎn)，并保持較高的良率。但隨著推進(jìn)到更先進(jìn)的次2nm節(jié)點 —— 即1.4nm與1nm...

臺積電 ASML 2025-10-23

ASML警告中國銷量下降或加劇26年增長擔(dān)憂

荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備巨頭、芯片制造光刻機的主要供應(yīng)商 ASML Holding NV 于 2025 年 10 月 15 日發(fā)布了 2025 年第三季度財報。結(jié)果顯示，在人工智能需求的推動下，訂單量強勁，但也對 2026 年對中...

ASML EUV 2025-10-16

三星購買了兩款A(yù)SML高數(shù)值孔值EUV工具

據(jù)《韓國經(jīng)濟日報》報道，據(jù)報道，三星將于今年晚些時候收到其首款高數(shù)值孔徑（high-NA） EUV 掃描儀——Twinscan EXE：5200B，隨后將于 2026 年上半年推出第二臺掃描儀。報告補充說，雖然該公司已...

三星 ASML 2025-10-16

ASML警告明年來自中國的需求可能大幅下滑

荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML第三季訂單表現(xiàn)優(yōu)于分析師預(yù)期，并表示明年銷售額將至少與2025年持平，主要受惠于全球企業(yè)大規(guī)模投資AI領(lǐng)域、對芯片制造設(shè)備的需求。同時，ASML也警告說，明年來自中國的需求可能大幅下滑。ASM...

ASML 財報 2025-10-16

臺積電加速自研EUV光罩保護膜，單片晶圓生產(chǎn)效率提升了4.5倍

據(jù)Tom's hardware報道，臺積電（TSMC）作為全球最大的先進(jìn)制程晶圓代工廠，不僅擁有著全球最先進(jìn)的制程工藝，也擁有著數(shù)量最多的ASML極紫外光（EUV）光刻機。2019年首次于華為麒麟9000處理器導(dǎo)入EUV...

臺積電 EUV 2025-09-23

三星據(jù)報道首次外包光掩模，著眼于新的 EUV 光掩模技術(shù)

根據(jù) The Elec 報道，援引行業(yè)消息人士稱，三星首次外包光掩?！酒圃熘兄陵P(guān)重要的組件。報道稱，三星據(jù)說正在外包低端光掩模用于內(nèi)存芯片，這表明其策略是將資源轉(zhuǎn)向 ArF 和 EUV 掩模生產(chǎn)...

EUV 光刻機 2025-09-18

High-NA不是通往2納米時代的唯一道路

半導(dǎo)體行業(yè)正在重新評估其制造最先進(jìn)芯片的長期路線圖。高數(shù)字光圈(High-NA)光刻技術(shù),曾被視為2 nm以下節(jié)點小型化的明確路徑,現(xiàn)在正在與其他選項進(jìn)行權(quán)衡。盡...

High-NA 2納米 2025-09-18

臺積電重新利用舊晶圓廠，將 EUV 薄膜生產(chǎn)引入內(nèi)部

臺積電正在重新利用其位于新竹科學(xué)園的舊的、已折舊的 8 英寸 Fab 3 來生產(chǎn)極紫外薄膜，并將這種生產(chǎn)引入內(nèi)部。EUV 薄膜是一種薄而高度透明的薄膜，拉伸在光掩模上方，以防止顆粒在 EUV 暴露期間接觸掩模。它旨在承受...

臺積電舊晶圓廠 2025-09-14

ASML 和 SK hynix 在韓國的工廠組裝了業(yè)界首個“商用”High NA EUV 系統(tǒng)

ASML 的 Twinscan EXE:5200N 配備 0.55 NA 鏡頭，實現(xiàn) 8 納米分辨率——而當(dāng)前 Low-NA EUV 工具的分辨率僅為 13 納米——使得單次曝光下晶體管尺寸縮小 1.7 倍，晶體管密度提...

EUV 光刻機 2025-09-04

SK海力士引入全球首臺High-NA EUV設(shè)備

據(jù)SK海力士官方消息，2025年9月3日，該公司在韓國利川M16工廠成功引進(jìn)了業(yè)界首款量產(chǎn)型高數(shù)值孔徑極紫外光刻機（High-NA EUV），并舉行了設(shè)備入廠慶祝儀式。此次引進(jìn)的設(shè)備為荷蘭ASML公司開發(fā)的TWINSCA...

SK海力士 High-NA 2025-09-03

美國、日本領(lǐng)導(dǎo)政府支持的光刻機(EUV)推廣，韓國據(jù)報道落后

根據(jù)韓國媒體 outlet ETNews 的報道，美國和日本正積極通過政府主導(dǎo)的舉措將極紫外(EUV)光刻機引入公共研究機構(gòu)。相比之下，韓國政府在這一領(lǐng)域的推動工作落后于美國和日本，報道暗示。美國 –...

EUV 光刻機 2025-07-02

半導(dǎo)體巨頭對high-NA EUV態(tài)度分化

據(jù)外媒報道，近期，一位匿名英特爾高層提出一種頗具爭議的觀點：未來晶體管設(shè)計，例如GAAFET和CFET架構(gòu)，可能會降低芯片制造對先進(jìn)光刻設(shè)備的依賴，尤其是對EUV光刻機的需求。這一觀點無疑對當(dāng)前芯片制造技術(shù)的核心模式提出...

半導(dǎo)體 high-NA EUV 2025-07-01

ASML研發(fā)5納米分辨率Hyper NA光刻機

據(jù)外媒報道，ASML正與蔡司（Carl Zeiss）合作，啟動研發(fā)分辨率可達(dá)5納米的Hyper NA光刻機設(shè)備。ASML技術(shù)執(zhí)行副總裁Jos Benschop表示，這種新型光刻機將滿足2035年及之后的芯片制造需求。目前...

ASML 5納米 2025-06-30

臺積電重申1.4nm級工藝技術(shù)不需要高數(shù)值孔徑EUV

臺積電在阿姆斯特丹舉行的歐洲技術(shù)研討會上重申了其對下一代高數(shù)值孔徑 EUV 光刻工具的長期立場。該公司的下一代工藝技術(shù)不需要這些最高端的光刻系統(tǒng)，包括 A16（1.6 納米級）和 A14（1.4 納米級）工藝技...

臺積電 1.4nm 2025-05-29

臺積電保持觀望 ASML最新EUV機臺只賣了5臺

荷蘭阿斯麥（ASML）全新機臺卻讓臺積電望之卻步！英媒指出，盡管阿斯麥最新一代的高數(shù)值孔徑（High-NA）極紫外光（EUV）微影設(shè)備性能強大，但因這款機臺單價高達(dá)4億美元，臺積電高層表示，目前「找不到非用不可的理由」...

臺積電 ASML 2025-05-29

臺積電仍在評估ASML的“High-NA”，因為英特爾未來會使用

全球最大的合同芯片制造商臺積電制造股份有限公司（2330.TW）仍在評估何時將 ASML 的尖端高數(shù)值孔徑（NA）機器用于其未來的工藝節(jié)點，一位高管周二表示。芯片制造商正在權(quán)衡這些價值近 4 億美元的機器的速度和...

臺積電 ASML 2025-05-28

三星外包低端光掩模，將資源集中在ArF和EUV上

據(jù) The Elec 報道，三星計劃外包用于存儲芯片制造的光掩模的生產(chǎn)。到目前為止，該公司一直在內(nèi)部生產(chǎn)所有光掩模，以防止技術(shù)泄漏。Elec 表示，據(jù)報道，三星正在評估低端光掩模的潛在供應(yīng)商，例如 i...

三星低端光掩模 2025-05-15

三星被曝將首次外包芯片“光掩?！鄙a(chǎn)，聚焦ArF和EUV等先進(jìn)技術(shù)

5 月 14 日消息，光掩模（版）系生產(chǎn)集成電路所需之模具，是用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結(jié)構(gòu)，其原理類似于沖洗相片時利用底片將影像復(fù)制到相片上。韓國科技媒體 TheElec 今日報道稱，三星電子正計劃將內(nèi)存芯片制...

三星外包芯片 2025-05-14

ASML計劃在荷蘭大規(guī)模擴張，助力EUV設(shè)備交付

據(jù)荷蘭媒體報道，ASML計劃在2028年前將其員工遷入位于荷蘭埃因霍溫附近的全新Brainport產(chǎn)業(yè)園區(qū)。這一消息是在ASML與埃因霍溫市政府官員共同介紹城市發(fā)展計劃初步草案時透露的。這一擴張計劃引發(fā)了全球晶圓制造行業(yè)...

EUV 光刻機 2025-05-09

ASM宣布將啟動美國本土生產(chǎn)以應(yīng)對關(guān)稅壓力

據(jù)媒體報道，荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASM International（簡稱“ASM”）在2025年第一季度財報電話會議上宣布，將立即啟動在美國本土的生產(chǎn)計劃，以應(yīng)對美國近期實施的關(guān)稅政策。今年4月初，美國總統(tǒng)特朗普簽署了一...

ASML EUV 2025-05-06

臺積電避免使用高NA EUV光刻技術(shù)

根據(jù)臺積電北美技術(shù)研討會的報告，代工臺積電不需要使用高數(shù)值孔徑極紫外光刻工具在其 A14 （1.4nm）工藝上制造芯片。該公司在研討會上介紹了 A14 工藝，稱預(yù)計將于 2028 年投產(chǎn)。之前已經(jīng)說過，A16 工藝將于...

臺積電高NA 2025-04-30

地都賣了，三星電子與ASML半導(dǎo)體研發(fā)合作還能繼續(xù)嗎？

三星電子和ASML曾于2023年12月宣布共同投資7億歐元（約1萬億韓元），在大都市地區(qū)建立極紫外（EUV）研究中心，致力于打造面向未來的半導(dǎo)體制造設(shè)備以保持三星在先進(jìn)工藝制程技術(shù)的領(lǐng)先性。針對這次合作，ASML特別與韓...

三星電子 ASML 2025-04-23

前英特爾CEO加入光刻技術(shù)初創(chuàng)公司

近日，英特爾前CEO帕特·基辛格（Pat Gelsinger）宣布加入xLight，擔(dān)任董事會執(zhí)行董事長，xLight官網(wǎng)上個月也公布了這一消息。xLight是一家面向極紫外（EUV）光刻機開發(fā)基于直線電子加速器的自由電...

英特爾 EUV 2025-04-15

三星已組建專注于1nm芯片開發(fā)的團隊量產(chǎn)目標(biāo)定于2029年

2nm GAA 工藝進(jìn)展被傳順利，但三星的目標(biāo)是通過推出自己的 1nm 工藝來突破芯片開發(fā)的技術(shù)限制。一份新報告指出，該公司已經(jīng)成立了一個團隊來啟動這一工藝。然而，由于量產(chǎn)目標(biāo)定于 2029 年，我們可能還需要一段時間才...

三星 1nm 2025-04-10

ASML計劃在日本擴增五倍EUV芯片工具員工

近日，荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML宣布，計劃在日本將其先進(jìn)的極紫外光（EUV）芯片工具的員工人數(shù)擴增五倍，這一舉措旨在加強其在全球半導(dǎo)體市場的競爭力。隨著全球?qū)Ω咝阅苄酒枨蟮募ぴ?，ASML的這一決策不僅能提升其在日本的...

ASML EUV 2025-04-03

EUV的未來看起來更加光明

對支持一切 AI 的先進(jìn)節(jié)點芯片的需求迅速增長，這給該行業(yè)滿足需求的能力帶來了壓力。從為大型語言模型提供支持的超大規(guī)模數(shù)據(jù)中心，到智能手機、物聯(lián)網(wǎng)設(shè)備和自主系統(tǒng)中的邊緣 AI，對尖端半導(dǎo)體的需求正在加速。但制造這些芯片在...

EUV AI芯片 2025-03-18

芯片巨頭，盯上EUV

除了 ArF 空白掩膜，三星還在加大力度將其他高度依賴日本的材料本地化。...

三星電子 EUV 2025-03-05

英特爾：ASML首批兩臺High-NA EUV設(shè)備已投產(chǎn)

據(jù)路透社報道，半導(dǎo)體大廠英特爾近日表示，半導(dǎo)體設(shè)備大廠阿斯麥（ASML）的首批兩臺尖端高數(shù)值孔徑（High NA）光刻機已在其工廠正式投入生產(chǎn)，且早期數(shù)據(jù)顯示，這些設(shè)備的性能比之前的機型更可靠。報道稱，英特爾資深首席工程...

英特爾 ASML 2025-02-26

英特爾兩臺High NA EUV光刻機已投產(chǎn)，單季完成3萬片晶圓

據(jù)路透社2月24日報道，英特爾資深首席工程師Steve Carson在美國在加利福尼亞州圣何塞舉行的一場會議上表示，英特爾已經(jīng)安裝的兩臺ASML High NA EUV光刻機正在其晶圓廠生產(chǎn)，早期數(shù)據(jù)表明它們的可靠性大約...

英特爾 High NA EUV 2025-02-26

英特爾：首批兩臺High-NA EUV 設(shè)備已投產(chǎn)

英特爾24日表示，ASML首批的兩臺先進(jìn)曝光機已投產(chǎn)，早期數(shù)據(jù)顯示比之前機型更可靠。英特爾資深首席工程師 Steve Carson 指出，英特爾用ASML 高數(shù)值孔徑（High NA）曝光機一季內(nèi)生產(chǎn) 3 萬片晶圓，即生...

英特爾 High-NA 2025-02-25

英特爾拿到的ASML高數(shù)值孔徑EUV已投入生產(chǎn)

《科創(chuàng)板日報》25日訊，英特爾周一表示，去年率業(yè)界之先接收的兩臺ASML高數(shù)值孔徑極紫外光EUV已投入生產(chǎn)。英特爾資深總工程師卡森表示，ASML這兩臺尖端機器已生產(chǎn)了3萬片晶圓。...

英特爾 ASML 2025-02-25

EUV光刻，新的對手

最近，美國勞倫斯利弗莫爾國家實驗室（LLNL）宣布開發(fā)出了一種名稱為大孔徑銩（BAT）激光器，這種激光器比現(xiàn)在行業(yè)內(nèi)的標(biāo)準(zhǔn) CO2 激光器將 EUV 光源提高約 10 倍。這一進(jìn)步，可能為新一代「超越 EUV」的光刻系統(tǒng)...

EUV 2025-01-15

納米壓印光刻技術(shù)旨在挑戰(zhàn)EUV

9 月，佳能推出了這項技術(shù)的第一個商業(yè)版本，有朝一日可能會顛覆最先進(jìn)的硅芯片的制造。它被稱為納米壓印光刻（NIL），能夠?qū)π≈?14 納米的電路特征進(jìn)行圖案化，使邏輯芯片能夠與目前正在量產(chǎn)的 Intel、AMD 和 N...

納米壓印光刻技術(shù) EUV? 2025-01-03