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光刻

光刻Top   利用照相復制與化學腐蝕相結合的技術,在工件表面制取精密、微細和復雜薄層圖形的化學加工方法。光刻原理雖然在19世紀初就為人們所知,但長期以來由于缺乏優良的光致抗蝕劑而未得到應用。直到20世紀50年代,美國制成高分辨率和優異抗蝕性能的柯達光致抗蝕劑(KPR)之后,光刻技術才迅速發展起來,并開始用在半導體工業方面。光刻是制造高級半導體器件和大規模集成電路的關鍵工藝之一,并已用于刻劃光柵、線紋尺和度盤等的精密線紋。

  • 光刻資訊

ASML報告2025年銷售額為327億歐元

ASML 光刻 2026-02-02

據中國中小企業在國內推動下贏得1.1億元人民幣光刻工具合同

光刻 中國 2025-12-30

日本開發10納米印記技術,有望解決極紫外(EUV)瓶頸問題

光刻 日本 2025-12-29

美國智庫指出DUVi存在漏洞,中國正推動利用多模式技術開發先進芯片

DUVi 光刻 2025-12-23

據報道,中國利用較舊的ASML組件制造EUV原型機,Eyes 2028芯片制造

ASML EUV 2025-12-19

中國陜西8英寸硅光子學平臺正式上線

光刻 2025-11-20

ASML的魔力揭秘:其EUV優勢背后的技術和合作伙伴中國無法復制

光刻 芯片 2025-11-10

ASML亮相第八屆進博會,展示其全球AI洞察與面向主流芯片市場的全景光刻解決方案

ASML 進博會 2025-11-05

中國研究團隊首度揭秘光刻膠在顯影液中的微觀行為,為提升光刻精度與良率開辟新路徑

光刻膠 顯影 2025-10-28

ASML杯光刻「芯 」勢力知識挑戰賽正式啟動

ASML 光刻 2025-06-25

前英特爾CEO加入光刻技術初創公司

英特爾 EUV 2025-04-15

ASML官網顯示:支持7nm高端DUV光刻機仍可出口

ASML 芯片制造 2023-07-03

事關EUV光刻技術,中國廠商公布新專利

EUV 光刻 2022-11-27

包括光刻!美國禁運6項關鍵技術

光刻 2020-10-26

臺積電公布3納米光刻規劃及未來路線

臺積電 3納米 2020-08-26

Intel/臺積電/ASML齊捧EUV光刻:捍衛摩爾定律

Intel 臺積電 2020-07-02

泛林集團發布應用于EUV光刻的技術突破

EUV 光刻 2020-02-28

日韓決裂,半導體誰最受傷?

首次加入EUV極紫外光刻!臺積電二代7nm+工藝已量產

光刻 臺積電 2019-05-27

芯片是如何被制造出來的?芯片光刻流程詳解

芯片 光刻 2019-02-20

我國成功研制出的世界首臺分辨力最高紫外超分辨光刻裝備?

光刻 芯片 2018-12-03

基于模型的建議:光刻友好設計成功的導航

模型 光刻 2017-06-13

“合肥造”光刻設備將打破國外壟斷

光刻 芯片 2016-11-03

晶圓制造人才告急,校企聯動與在職培訓缺一不可

晶圓 OPC 2014-06-26

Molecular Imprints 將為半導體大批量制造提供先進光刻設備

半導體 光刻 2012-09-25

SEMI:2013年全球光刻掩膜板市場預計可達33.5億美元規模

光刻 掩膜板 2012-08-05

2012-2013年中國半導體分立器件行業進入壁壘分析

半導體 光刻 2012-05-28

SUSS MicroTec收購Tamarack Scientific公司

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可彎曲式光電技術大躍進

光電 納米 2011-10-25

李長春在吉林華微調研時稱模擬器件行業很有前途

華微 模擬器件 2011-09-07

2011韓國半導體光刻膠需求預計達2.58億美元

半導體 光刻 2011-08-31

DRAM成本削減及節省步伐從2012年開始將放緩

DRAM 光刻 2011-07-10

MIT研究顯示電子束光刻可達9納米精度

光刻 EUV 2011-07-06

芯片制造三巨頭的次世代光刻技術戰略對比分析

芯片制造 光刻 2011-03-03

HamaTech接到幾十份MaskTrack Pro設備訂單

HamaTech 光刻 2010-12-24

ASML公布其Q3業績

ASML 光刻 2010-10-15

Sokudo早餐會上論光刻技術趨勢

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GlobalFoundries 15nm 2010-07-16

Intel展示新材料 極紫外光刻走向實用

Intel 光刻 2010-06-17

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